國內(nèi)光刻膠產(chǎn)業(yè)，真的沒一家能看的？

日前，一個(gè)名為“半導(dǎo)體行業(yè)交流”的微信群中發(fā)生了一起“爭執(zhí)”，爭執(zhí)雙方分別是被稱為“中芯國際光刻膠負(fù)責(zé)人”的楊曉松，以及方正證券電子首席——陳杭，爭執(zhí)的核心則是“國產(chǎn)ArF光刻膠”。

楊曉松：“別扯ArF，沒一家能看的，各個(gè)都不敢來見我。”

陳杭：“你算老幾？”

一場(chǎng)圍繞光刻膠的“短暫爭執(zhí)”，吃瓜網(wǎng)友各自站隊(duì)

隨后，陳杭分享了自己一篇名為《如何重新認(rèn)識(shí)中芯國際》的文章，并寫到：

“中芯國際進(jìn)入實(shí)體名單后，完全基于美系設(shè)備的7nm，其現(xiàn)實(shí)意義遠(yuǎn)小于基于國產(chǎn)設(shè)備的成熟工藝，晶圓代工廠并不是半導(dǎo)體的最底層技術(shù)，只是芯片設(shè)備、材料、工藝的集成商。中國半導(dǎo)體的主要矛盾已經(jīng)從缺少先進(jìn)工藝調(diào)教，轉(zhuǎn)移到缺少國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料。”

而針對(duì)陳杭的反擊，楊曉松則是揶揄稱“你知道的太少了[奸笑]”，并針對(duì)陳杭“你算老幾”的質(zhì)疑回復(fù)，“你去問問國內(nèi)所有做光刻的，我敢不敢這么說。”

或許是眼見事情有越鬧越大的趨勢(shì)，在最后，陳杭被華泰證券電子首席紀(jì)攀峰“請(qǐng)”出了群聊。

而聊天截圖被曝出之后，也直接引發(fā)了各路網(wǎng)友的探討，并紛紛站隊(duì)。

支持楊曉松的網(wǎng)友，主要持有的看法是隔行如隔山，做技術(shù)的比資本更看得請(qǐng)，并諷刺資本只想“炒高套現(xiàn)走人”：

而站隊(duì)陳杭的，主要認(rèn)為楊曉松的態(tài)度過于傲慢，有點(diǎn)“崇洋媚外”：

不過，拋開爭議，在“光刻膠”這一產(chǎn)業(yè)，國產(chǎn)實(shí)力究竟如何呢？

光刻膠，又是一個(gè)翹起千億半導(dǎo)體市值的小規(guī)模產(chǎn)業(yè)

可以說，以光刻膠為代表的材料，重要性可與EDA比肩。其中，光刻膠更是有著“半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠”稱號(hào)。

而與EDA一樣，光刻膠產(chǎn)業(yè)也處于長期被國外公司壟斷的局面。

據(jù)悉，全球光刻膠市場(chǎng)有86%的市場(chǎng)份額掌握在東京應(yīng)化、JSR、羅門哈斯、信越化學(xué)、富士這5家公司手中，而從國家來進(jìn)行區(qū)分，光刻膠是一個(gè)由日本寡頭壟斷的產(chǎn)業(yè)。

就在兩年前，日本就曾“斷供”韓國3種半導(dǎo)體材料，其中就包括了光刻膠。而眾所周知，韓國是半導(dǎo)體出口大國，更是占據(jù)了每年出口總額的25%，日本的斷供無疑將產(chǎn)生巨大的沖擊。

也因此，在日本宣布斷供后，三星太子李在镕和海力士CEO李錫熙推掉行程，專程前往日本尋求解決辦法。

可見，即便是半導(dǎo)體巨頭如三星等，也不能承受日本斷供之痛。

而此次被拿出來探討的ArF是光刻膠的其中一種，被廣泛應(yīng)用于90nm~14nm甚至7nm的高端芯片制造。這一市場(chǎng)中，僅日本JSR、信越化學(xué)、東京應(yīng)化、住友化學(xué)四家公司，就拿下了82%的份額。

但需要注意的是，雖然光刻膠是半導(dǎo)體底層技術(shù)之一，但是它本身的規(guī)模并不是很大。

數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2016-2019年，全球半導(dǎo)體光刻膠的市場(chǎng)規(guī)模從15億美元增長至18億美元，年復(fù)合增速達(dá)到6.3%。至于2020年，市場(chǎng)規(guī)模約為19億美元。

再看全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模，在2020年就達(dá)到了4498億美元。

由此可見，與EDA一樣，光刻膠也以小體量撐起了半導(dǎo)體的千億市場(chǎng)規(guī)模。

國產(chǎn)光刻膠有突破，但落地仍有難度

從整個(gè)事件來看，陳杭的觀點(diǎn)是設(shè)備、材料稀缺的重要性在先進(jìn)制造工藝之上，而楊曉松則認(rèn)為，當(dāng)前國產(chǎn)ArF產(chǎn)品都不行。

分開來講，兩者都有一定的事實(shí)依據(jù)，陳杭的觀點(diǎn)道出了一種未來趨勢(shì)，點(diǎn)出了光刻膠等材料、設(shè)備對(duì)于國內(nèi)芯片制造工藝的不可或缺性；楊曉松也指出了國產(chǎn)光刻膠的不足，這也是事實(shí)，只是有些過于絕對(duì)、過于壟斷了。

比如ArF光刻膠，國內(nèi)沒有公司在做嗎？是有的，比如南大光電、晶瑞股份。

就在這場(chǎng)爭執(zhí)被曝出的前一天，南大光電發(fā)布公告稱，公司所承擔(dān)的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之光刻膠項(xiàng)目通過了專家組驗(yàn)收。

在這之前，該公司的ArF光刻膠已經(jīng)分別通過了50nm閃存平臺(tái)認(rèn)證和55nm邏輯電路平臺(tái)認(rèn)證，兩條光刻膠生產(chǎn)線的建設(shè)也已經(jīng)完成，年產(chǎn)能將達(dá)25噸（干式5噸、浸沒式20噸）。

于國內(nèi)較為匱乏的光刻膠產(chǎn)業(yè)來說，南大光電的這一突破值得慶賀。但提及量產(chǎn)問題，即便是南大光電，內(nèi)心也是沒有底的。

就在公告中，南大光電也直言：

ArF光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險(xiǎn)，不僅需要技術(shù)攻關(guān)，還需要在應(yīng)用中進(jìn)行工藝的改進(jìn)、完善。同時(shí)，ArF光刻膠產(chǎn)品國產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴(yán)格要求，后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場(chǎng)仍存在較多的不確定性。這些都會(huì)影響ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟(jì)效益。

具體來看，比如驗(yàn)證周期，光刻膠的批量測(cè)試不僅需要占用晶圓廠的產(chǎn)線，還需要與光刻機(jī)、掩膜版及半導(dǎo)體制程中的許多工藝步驟進(jìn)行配合，成本極高。尤其是半導(dǎo)體光刻膠，驗(yàn)證周期一般都需要2-3年的時(shí)間，對(duì)于普通企業(yè)而言，這個(gè)代價(jià)不可小看。

此外，即便通過了驗(yàn)證，面對(duì)不同半導(dǎo)體產(chǎn)品的差異化需求，光刻膠也需要調(diào)配出適合的產(chǎn)品來滿足需求，這對(duì)于光刻膠量產(chǎn)而言，是一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)與一大難點(diǎn)。

最后

光刻膠的研發(fā)是迫在眉睫的，也是半導(dǎo)體國產(chǎn)替代的重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)之一。

比如光刻膠種類之一的KrF。早在今年5月就有報(bào)道稱，因?yàn)楫a(chǎn)能受限以及全球晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)等原因，在KrF光刻膠領(lǐng)域占據(jù)市場(chǎng)超2成的信越化學(xué)，已經(jīng)向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，甚至通知部分中小晶圓廠停止送貨KrF光刻膠。也因此，國內(nèi)多家晶圓廠將面臨無KrF光刻膠可用的困境。

這一事實(shí)，正不斷提醒國內(nèi)有關(guān)于光刻膠國產(chǎn)替代的進(jìn)程向前推進(jìn)。

或許就某些先進(jìn)制程而言，當(dāng)前的國產(chǎn)光刻膠還不能滿足需求，但是站在長遠(yuǎn)角度來看，除了持續(xù)關(guān)注先進(jìn)制程的突破，光刻膠等產(chǎn)業(yè)也不容忽視。

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