對話江蘇福拉特:半導(dǎo)體濕法設(shè)備,國產(chǎn)替代正當(dāng)時(shí)
國產(chǎn)設(shè)備能以清洗設(shè)備為突破口,讓我們在更多細(xì)分領(lǐng)域看到“國產(chǎn)力量”。
如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),已經(jīng)是現(xiàn)代社會(huì)不可或缺的重要支柱之一。從計(jì)算機(jī)、到智能手機(jī),再到人工智能,幾乎所有的科技領(lǐng)域都離不開芯片的應(yīng)用。
正是在這個(gè)高度競爭的市場,芯片制造商們一直努力提高芯片的性能,一方面在芯片制程上不斷突破物理極限,另一方面在設(shè)計(jì)、封裝等環(huán)節(jié)研發(fā)新的工藝。然而,隨著芯片尺寸的不斷縮小,微小雜質(zhì)及污染物對于芯片良率和性能的影響開始變得越來越顯著。
而半導(dǎo)體清洗作為貫穿硅片制造、晶圓制造、封裝等環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)工序,同樣開始朝著精細(xì)化、專業(yè)化的方向發(fā)展。
值得一提的是,近年來國產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備不斷精進(jìn),是半導(dǎo)體設(shè)備中國產(chǎn)化率較高的類別之一。
在前不久舉辦的“2024世界半導(dǎo)體大會(huì)”上,鎂客網(wǎng)有幸與專攻半導(dǎo)體清洗技術(shù)的江蘇福拉特自動(dòng)化設(shè)備有限公司(以下簡稱“福拉特”)進(jìn)行了一次深度交流。
作為一家提供“一站式”服務(wù)的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,福拉特在國內(nèi)半導(dǎo)體清洗行業(yè)名聲漸起,其產(chǎn)品更是打破了國外大廠的壟斷。
團(tuán)隊(duì)耕耘20年載,專注濕法設(shè)備技術(shù)突破
根據(jù)定義,按照清洗介質(zhì)不同,半導(dǎo)體清洗技術(shù)可以分為濕法清洗和干法清洗兩種工藝路線,其中濕法清洗為當(dāng)前主流技術(shù)路線。
所謂濕法清洗,指的是用液體化學(xué)溶劑或無離子水,通過腐蝕、溶解、化學(xué)反應(yīng)等方法,使硅片表面的雜質(zhì)與溶劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成可溶性物質(zhì)、氣體或直接脫落,從而達(dá)到清潔硅片的目的。
福拉特告訴鎂客網(wǎng),目前濕法清洗的運(yùn)用范圍非常廣泛,不僅在硅片制造、先進(jìn)封裝等常見半導(dǎo)體行業(yè)場景里,在泛半導(dǎo)體行業(yè),對于這種清洗技術(shù)同樣有所需求。
因此,根據(jù)使用場景的不同,濕法清洗技術(shù)路線又被細(xì)分成單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備和洗刷器等類別,其中單片和槽式清洗設(shè)備是目前主流的清洗設(shè)備,而福拉特目前在這兩條主流路線上均有相關(guān)產(chǎn)品推出。
在本次大會(huì)上,福拉特帶來了公司最新的單片濕法設(shè)備以及槽式濕法設(shè)備,其產(chǎn)品規(guī)格最高支持19nm,是目前國內(nèi)一流水平。除此以外,福拉特另一大主力產(chǎn)品——藥液濃度在線檢測儀,可針對多領(lǐng)域使用的藥液進(jìn)行濃度測量、在線檢測分析與管理,同樣也在業(yè)內(nèi)得到了市場驗(yàn)證以及客戶認(rèn)可。
總的來說,福拉特的優(yōu)勢在于其產(chǎn)品可以覆蓋客戶的大部分需求;而另一方面,福拉特更是國內(nèi)少有的“一站式”濕法設(shè)備供應(yīng)商。
據(jù)介紹,從行業(yè)現(xiàn)狀來看,國內(nèi)大部分企業(yè)的清洗主設(shè)備和附屬設(shè)備一般由不同供應(yīng)商提供,而福拉特可以同時(shí)提供硬件以及配套軟件。
因此對于客戶來講,無論是前期評估成本、后期運(yùn)營成本、還是整體采購成本,“一站式采購”都能做到節(jié)省大量成本,為企業(yè)實(shí)現(xiàn)降本增效。
值得一提的是,福拉特2011年于昆山成立,并在2017年成立南京研發(fā)制造中心,但在這之前,福拉特的核心團(tuán)隊(duì)已經(jīng)在濕法工藝領(lǐng)域耕耘了20余年左右,積累了相當(dāng)豐富的經(jīng)驗(yàn)。
正是憑借對技術(shù)的熱愛以及市場的敏銳洞察力,福拉特可以輕松滿足客戶的定制化需求或產(chǎn)品匹配。
最終在口碑的不斷積累下,福拉特在業(yè)內(nèi)打響名聲。
國產(chǎn)替代正當(dāng)時(shí),扛起重任
從全球大環(huán)境來看,半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場主要被日本迪恩士、東京電子、細(xì)美事和泛林半導(dǎo)體把持,四家公司合計(jì)市場占有率達(dá)到90%以上,市場格局較為集中。
但由于清洗設(shè)備本身占據(jù)成本空間并不大,且復(fù)雜程度較刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等類別相對較低,因此也是國產(chǎn)化可能性最大的類別之一。
作為國內(nèi)領(lǐng)先的濕法制程設(shè)備供應(yīng)商,福拉特在近些年的發(fā)展歷程中,明確了以“中國創(chuàng)造引領(lǐng)半導(dǎo)體顯示裝備發(fā)展”為愿景,并堅(jiān)持以“科技創(chuàng)新,強(qiáng)大中國半導(dǎo)體顯示裝備產(chǎn)業(yè)”為使命,著眼于攻克行業(yè)前沿和卡脖子技術(shù)。
據(jù)介紹,福拉特在吸納海外優(yōu)秀技術(shù)的同時(shí),其技術(shù)團(tuán)隊(duì)也在不斷調(diào)研國內(nèi)市場環(huán)境。針對國內(nèi)缺失的技術(shù)或環(huán)節(jié),福拉特的技術(shù)團(tuán)隊(duì)持續(xù)地進(jìn)行研發(fā)、完善與迭代。最終在應(yīng)用場景的不斷積累與豐富之后,福拉特在技術(shù)上已實(shí)現(xiàn)國內(nèi)領(lǐng)先8項(xiàng)、唯一3項(xiàng)、首創(chuàng)3項(xiàng),其產(chǎn)品也打破了國外廠商的壟斷。
而從長期發(fā)展目標(biāo)來看,福拉特除了會(huì)繼續(xù)在濕法設(shè)備端耕耘以外,未來還會(huì)在材料等環(huán)節(jié)投入精力,為開拓泛半導(dǎo)體應(yīng)用場景打好基礎(chǔ)。
結(jié)語
如今的半導(dǎo)體清洗工藝,幾乎貫穿了整個(gè)集成電路生產(chǎn)過程。同時(shí),隨著線寬不斷縮小,對于顆粒和薄膜厚度的控制要求越來越高,半導(dǎo)體清洗工藝的重要性日益凸顯,市場逐年擴(kuò)大。
可以說,以濕法清洗為代表的新技術(shù),保證了芯片產(chǎn)品的性能和良率,可謂“錦上添花“,足以看出該市場的潛能。
另一方面,以福拉特為代表的國產(chǎn)半導(dǎo)體廠商,在技術(shù)層面的持續(xù)耕耘,為國產(chǎn)替代注入了更多的動(dòng)力,也為更多企業(yè)的發(fā)展提供了出色的模板。
相信在不久的未來,國產(chǎn)設(shè)備能以清洗設(shè)備為突破口,讓我們在更多細(xì)分領(lǐng)域看到“國產(chǎn)力量”。
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