5nm單次曝光!ASML開始研發(fā)新一代Hyper NA EUV光刻機
作為全球光刻機龍頭,荷蘭ASML公司近日正式對外披露了下一代極紫外(EUV)光刻機的研發(fā)戰(zhàn)略,宣布已著手研發(fā)下一代Hyper NA...
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