三步走！俄羅斯也要造EUV光刻機(jī)
近日，俄羅斯科學(xué)院微結(jié)構(gòu)物理研究所披露了國產(chǎn)極紫外（EUV）光刻設(shè)備的長期研發(fā)路線圖。
按照路線圖，整個(gè)研發(fā)計(jì)劃將分為...
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